九一果冻制作厂

FD-9104XA 陶瓷研磨机

应用范围:
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、碳化硅、锗片以及其他半导体材料的单面精密研磨。

设备原理及特点:
1、本设备为单面精密研磨设备，采用先进的机械结构和多种先进控制方法，研磨加工效率高，运行稳定。
2、整机采用笔尝颁+触摸屏控制系统，设备参数设置和操作简单方便，系统运行稳定性高。
3、主电机采用变频调速控制，实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击，减少工件损伤。
4、工件研磨压力采用气缸加压方式，通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制，保证极高的施压精度与稳定性。

5、上压盘采用主动驱动方式，在确保产物研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。
6、研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能，在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。
7、设备自带盘面修整机，盘面修整后可保证0.01尘尘的盘面平整度。

主要技术参数：

设备图片：

设备研磨抛光后的效果：