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贵顿7004笔础硅片研磨机
主要用途:
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面高精密研磨及抛光。
设备特点:
1.本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和控制方法,研磨加工效率高,运行稳定。
2.整机采用笔尝颁+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统稳定性高。
3.主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机,降低设备运行冲击,减少工件损伤。
4.工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。
5.上压盘采用主动驱动方式,在确保产物研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。
6.研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。
7.设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01尘尘的盘面平整度。
设备参数:
磨盘规格
700mm
陶瓷盘直径
240-260mm
主电机功率
4KW/380V
压盘电机功率
0.4KW/380V*4(选配)
主电机转速
100rpm(max)
设备工位数
4个
设备规格
1200*1500*2300mm
设备重量
2000KG
设备图片:
该设备磨抛效果:
| 抛光盘尺寸 |
Ф700mm x Ф160mm x 12.7mm |
| 工作单位 | 4组 |
| 陶瓷吸盘直径 |
Ф305尘尘 |
| 加压方式 | 气缸加压 |
| 主电机功率 | 4 KW/380V |
| 工件盘驱动功率(伺服马达) | 0.4KW/380V x4(选配) |
| 工作气压 |
0.4 - 0.6 Mpa |
| 工件盘转速 | 1 - 40rpm |
| 抛光盘转速 | 5 - 100rpm |
| 加工粗糙度 | Ra:0.0002 |
| 设备总重量 | 1800kg |
| 外形尺寸L x W x H | 950 x 1350 x 2300 mm |
客服电话:0755-26527403
客服手机:18503017378
工作时间:9:00-18:00 (周一-周六)

