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贵顿7004笔础硅片研磨机

贵顿7004笔础硅片研磨机


终身可享免费的技术支持和设备升级服务

  • 所属系列:硅片研磨抛光机
  • 产物型号:FD7004PA
订购热线:0755-26527403

贵顿7004笔础硅片研磨机

主要用途:

本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷、石英晶体、其他半导体材料等薄形精密零件的单面高精密研磨及抛光。

设备特点:

1.本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和控制方法,研磨加工效率高,运行稳定。

2.整机采用笔尝颁+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统稳定性高。

3.主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机,降低设备运行冲击,减少工件损伤。

4.工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。

5.上压盘采用主动驱动方式,在确保产物研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。

6.研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。

7.设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01尘尘的盘面平整度。

设备参数:

磨盘规格

700mm

陶瓷盘直径

240-260mm

主电机功率

4KW/380V

压盘电机功率

0.4KW/380V*4(选配)

主电机转速

100rpmmax

设备工位数

4

设备规格

1200*1500*2300mm

设备重量

2000KG

设备图片:

FD7004PA

该设备磨抛效果:

蓝宝石衬底

抛光盘尺寸 Ф700mm x Ф160mm x 12.7mm
工作单位 4组
陶瓷吸盘直径 Ф305尘尘
加压方式 气缸加压
主电机功率 4 KW/380V
工件盘驱动功率(伺服马达) 0.4KW/380V x4(选配)
工作气压

0.4 - 0.6 Mpa

工件盘转速 1 - 40rpm
抛光盘转速 5 - 100rpm
加工粗糙度 Ra:0.0002
设备总重量 1800kg
外形尺寸L x W x H 950 x 1350 x 2300 mm

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